煙氣CEMS的比對監(jiān)測是保證煙氣CEMS的數(shù)據(jù)質(zhì)量，提高煙氣CEMS數(shù)據(jù)使用效率的一個重要的外部手段；同時也是CEMS數(shù)據(jù)質(zhì)量控制過程中最重要的末端控制環(huán)節(jié)之一。因此，針對煙氣CEMS對比監(jiān)測必須制定一套科學(xué)完備的、行之有效的內(nèi)部管理質(zhì)量保證和質(zhì)量控制程序，以確保煙氣CEMS比對檢測的各項操作規(guī)范和比對監(jiān)測取得的全部數(shù)據(jù)有效，提比對監(jiān)測數(shù)據(jù)的可靠性，進(jìn)而能夠真實、準(zhǔn)確的反應(yīng)目前再用CEMS儀器設(shè)備的運行使用狀態(tài)和數(shù)據(jù)質(zhì)量狀態(tài)。

煙氣CEMS比對檢測的全過程包括：

1.煙氣CEMS比對監(jiān)測前提條件：包括煙氣CEMS的適用性檢測、儀器調(diào)試檢測、驗收檢測、運營維護(hù)、檢測工作人員、參比儀器、監(jiān)測方法；

2.煙氣CEMS比對監(jiān)測準(zhǔn)備工作：包括污染源情況考察、煙氣CEMS基本情況、參比儀器的校準(zhǔn)維護(hù)、安全防護(hù)和通信儀器、實施方案；

3.煙氣CEMS比對監(jiān)測現(xiàn)場采樣和監(jiān)測工作：包括煙氣CEMS現(xiàn)場檢查、顆粒物比對監(jiān)測、氣態(tài)污染物比對監(jiān)測、煙氣流速比對監(jiān)測、煙氣溫度比對監(jiān)測；

4.煙氣CEMS比對監(jiān)測數(shù)據(jù)匯總處理分析；

5.煙氣CEMS比對監(jiān)測數(shù)據(jù)審核、報告和結(jié)果判定。